Método simultâneo de imagem e de medida de elementos no nível submicrônico. A microscopia nuclear usa um feixe iônico de PRÓTONS e PARTÍCULAS ALFA de alta energia (uma sonda nuclear) para interagir com a amostra. As radiações resultantes emitidas são analisadas por um grupo de técnicas simultaneamente: espectrometria de emissão de partícula induzida por raios X (ver ESPECTROMETRIA POR RAIOS X) para identificação e rastreamento de elementos; espectroscopia de retrodispersão de Rutherford para se obter a espessura da amostra e elementos como carbono, hidrogênio, oxigênio e nitrogênio; e microscopia iônica de transmissão e varredura para se obter a estrutura e densidade da amostra.